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            HRP?-260 探針式輪廓儀
            HRP?-260 探針式輪廓儀
            • HRP?-260 探針式輪廓儀

            HRP?-260 探針式輪廓儀

            產品報價:詢價

            更新時間:2021/7/29 10:04:51

            地:日本

            牌:KLA

            號:HRP?-260

            廠商性質: 生產型,貿易型,服務型,

            公司名稱: 北京億誠恒達科技有限公司

            產品關鍵詞: 探針式輪廓儀   輪廓儀   探針式  

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            李小姐 : (13167526845) (010-82718430)

            (聯系我時,請說明是在來寶網上看到的,謝謝?。?/b>


            HRP?-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀。HRP的性能經過生產驗證,能夠進行自動化晶圓裝卸、可為半導體、化合物半導體、高亮度LED、數據存儲和相關行業提供服務。P-260配置支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的二維及三維測量,其掃描深度可達200mm而無需圖像拼接。 HRP?-260配置的功能與P-260相同,并增加了能夠對小特征進行高分辨率和高產量測量的高分辨率平臺。

            HRP?-260的雙平臺功能可以進行納米和微米表面形貌的測量。 P-260配置提供長掃描(最長200mm)的功能,無需圖像拼接,HRP?-260提供高分辨率掃描平臺,掃描長度可達90μm。 P-260結合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描的功能,實現了出色的測量穩定性。 HRP?-260采用高分辨率壓電掃描平臺提高性能。 通過采用點擊式平臺控制、低倍和高倍率光學系統以及高分辨率數碼相機,其程序設置快速簡便。 HRP?-260支持二維和三維測量,具有各種濾鏡、調平和數據分析算法,以量化表面形貌。 并且通過自動晶圓裝卸、圖案識別、排序和特征檢測以實現全自動測量。

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            主要功能

            ·        臺階高:納米至327μm

            ·        恒力控制的低觸力:0.0350mg

            ·        樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

            ·        視頻:在線低倍和高倍放大光學系統

            ·        圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

            ·        軟件:簡單易用的軟件界面

            ·        生產能力:通過測序、圖案識別和SECS / GEM實現全自動化

            ·        晶圓機械傳送臂:自動加載75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍寶石)樣品

            ·        HRP:高分辨率掃描平臺,分辨率類似于AFM


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            主要應用

            ·        臺階高度:2D3D臺階高度

            ·        紋理:2D3D粗糙度和波紋度

            ·        外形:2D3D翹曲和形狀

            ·        應力:2D3D薄膜應力

            ·        缺陷復檢:2D3D缺陷表面形貌


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            工業應用

            ·        半導體

            ·        復合半導體

            ·        LED發光二極管

            ·        MEMS微機電系統

            ·        數據存儲

            ·        汽車

            ·        還有更多:請與我們聯系以滿足您的要求


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            北京億誠恒達科技有限公司

            | 第13

            手機:13167526845

            聯系人:李小姐

            電話:010-82718430

            傳真:010-82718430

            QQ:2745416731

            (聯系我時,請說明是在來寶網上看到的,謝謝?。?/strong>


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