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            聚焦離子束顯微鏡(FIB) - 來寶百科

            FIB(聚焦離子束,Focused Ion beam)是將液態金屬(大多數FIB都用Ga)離子源產生的離子束經過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產生二次電子信號取得電子像.此功能與SEM(掃描電子顯微鏡)相似,或用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工.通常是以物理濺射的方式搭配化學氣體反應,有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層。  詳情 >
            聚焦離子束顯微鏡(FIB) >
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